标准型DIL31手动位移滑台
发布时间:2025-06-25 16:15:46点击量:
标准型DIL31手动位移滑台采用高精度交叉滚柱导轨与微分头驱动系统,专为超精密测量与光学调整设计。其零膨胀合金基座配合主动温控技术,实现±0.002mm重复定位精度,热稳定性达±0.1μm/℃,适用于光刻机校准、量子实验等纳米级应用场景。
产品特点:
1.纳米级精度:预压交叉滚柱导轨,背隙<0.3μm
2.温度稳定:主动温控系统(24小时漂移<0.1μm)
3.无尘设计:真空兼容版本可?。?0??Pa)
4.智能监测:内置振动传感器(灵敏度0.01μm)
5.快速切换:??榛峁怪С值缍?/p>