精密DJA71手动位移滑台
发布时间:2025-06-06 17:44:03点击量:
DJA71手动位移滑台采用精密交叉滚柱导轨与千分尺微进给系统,专为超精密光学与微纳制造设计。其零膨胀陶瓷基座配合主动温控系统,实现±0.001mm的极端定位精度,热稳定性达±0.05μm/℃。适用于光刻机校准、量子实验等纳米级应用场景,真空兼容版本可满足10??Pa超净环境需求。
产品特点:
1.原子级精度:激光干涉仪校准导轨,分辨率0.0001mm(选配)
2.环境免疫:主动温控+磁悬浮隔振(振动<1nm RMS)
3.无接触传动:可选压电陶瓷驱动器(纳米步进0.1nm)
4.极限洁净:真空镀膜导轨面(出气率<10?11Torr·L/s)
5.智能互联:集成5G??槭凳鄙洗ㄎ皇荩ā?.5μm同步精度)