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精密DJA71手动位移滑台

发布时间:2025-06-06 17:44:03点击量:

精密DJA71手动位移滑台(图1)

精密DJA71手动位移滑台(图2)

DJA71手动位移滑台采用精密交叉滚柱导轨与千分尺微进给系统,专为超精密光学与微纳制造设计。其零膨胀陶瓷基座配合主动温控系统,实现±0.001mm的极端定位精度,热稳定性达±0.05μm/℃。适用于光刻机校准、量子实验等纳米级应用场景,真空兼容版本可满足10??Pa超净环境需求。


产品特点:


1.原子级精度:激光干涉仪校准导轨,分辨率0.0001mm(选配)

2.环境免疫:主动温控+磁悬浮隔振(振动<1nm RMS)

3.无接触传动:可选压电陶瓷驱动器(纳米步进0.1nm)

4.极限洁净:真空镀膜导轨面(出气率<10?11Torr·L/s)

5.智能互联:集成5G??槭凳鄙洗ㄎ皇荩ā?.5μm同步精度)

精密DJA71手动位移滑台(图2)

精密DJA71手动位移滑台(图3)

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